目前制備電子工業(yè)用超純水的工藝基本上是以下三種，主要是 純水設備 與工工藝的不同。其余的工藝流程大都是在以下三種基本工藝流程的基礎上進(jìn)行不同組合搭配衍生而來(lái)�，F將他們的優(yōu)缺點(diǎn)分別列于下面： 1、第一種采用離子交換樹(shù)脂其優(yōu)點(diǎn)在于初投資少，占用的...